影響高精度電火花機加工精度的主要因素：

1.放電間隙對加工精度的影響：對高精度電火花機加工放電間隙大小的定量認識，是確定加工方案的基礎。其中，包括工具電極形狀、尺寸的設計，加工工藝步驟的設計、加工規準的選擇與切換以及相應工藝措施的設計等等。

2.加工斜度的影響：在高精度電火花機加工中，側壁的加工斜度是不可避免的。對于一些需要有一定斜度的模具，成形模的脫模斜度、沖模的落料斜度等，高精度電火花機加工過程中的自然斜度是有益的。但是，在加工精度的直壁模具中，加工斜度則對保證加工精度帶來了困難。

3.棱角倒圓的影響：在成形加工中，工具電極尖棱、尖角處損耗速度一般比較快。因此在加工中很難加工出清棱清角，這樣就影響了高精度電火花機成形加工的仿形精度。棱角倒圓有損耗的原因，同時也有工藝方面的原因、例如：在型腔加工中，一般都采用”手動“或”搖動'加工工藝，很多情況下，尤其使國產平動頭，都采用仿圓軌跡的運動方式。在型腔加工修光的同時，又產生了棱角倒圓的副作用。因此，對清棱清角要求高的功件，只能增加工具電極穿透的深度（冷沖模），或在線修整電極，或更換電極。平動或搖動，因有斜十字、米字等多種搖動軌跡、有助于解決棱角損耗角度。

4.其它因素：還有一些其它因素，如：工具電極損耗。鏡面加工時間長電極損耗大；工作液污染嚴重；沖油比抽油斜度也大（沉渣泛起）；成形加工裝置的精度；工具電極的裝卡、找正精度都會造成斜度影響。甚至電極形狀不同，高精度電火花機通道壓力不均，機械剛性差等也會對斜度產生影響；伺服不穩定，工具電極提升頻繁，二次放電增多等等都會增大加工斜度，進而會影響放電間隙，也影響了加工精度。